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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第572位 53件
(2021年:第595位 53件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第398位 74件
(2021年:第483位 50件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2022-43453 | θステージ機構及び電子ビーム検査装置 | 2022年 3月16日 | |
特開 2022-42861 | 荷電粒子ビーム調整方法、荷電粒子ビーム描画方法、および荷電粒子ビーム照射装置 | 2022年 3月15日 | |
特開 2022-34866 | マルチ電子ビーム検査装置及びその調整方法 | 2022年 3月 4日 | |
特開 2022-35477 | マルチ電子ビーム描画装置及びマルチ電子ビーム描画方法 | 2022年 3月 4日 | |
特開 2022-35663 | 光電面電子源 | 2022年 3月 4日 | |
特開 2022-30301 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 | 2022年 2月18日 | |
特開 2022-25359 | パターン検査装置及び輪郭線同士のアライメント量取得方法 | 2022年 2月10日 | |
特開 2022-16779 | パターン検査装置及びパターンの輪郭位置取得方法 | 2022年 1月25日 | |
特開 2022-16780 | パターン検査装置及びパターン検査方法 | 2022年 1月25日 | |
特開 2022-7078 | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | 2022年 1月13日 | |
特開 2022-7375 | パターン検査装置及びパターン検査方法 | 2022年 1月13日 |
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2022-43453 2022-42861 2022-34866 2022-35477 2022-35663 2022-30301 2022-25359 2022-16779 2022-16780 2022-7078 2022-7375
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2月22日(土) - 東京 板橋区
2月22日(土) - 東京 板橋区
2月25日(火) -
2月25日(火) -
2月26日(水) -
2月26日(水) -
2月26日(水) - 東京 港区
2月26日(水) -
2月26日(水) - 千葉 船橋市
2月27日(木) -
2月27日(木) -
2月27日(木) - 東京 港区
2月27日(木) -
2月27日(木) - 東京 千代田区
2月25日(火) -
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