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株式会社ニューフレアテクノロジー

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  2022年 出願公開件数ランキング    第572位 53件 上昇2021年:第595位 53件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第398位 74件 上昇2021年:第483位 50件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2022-43453 θステージ機構及び電子ビーム検査装置 2022年 3月16日
特開 2022-42861 荷電粒子ビーム調整方法、荷電粒子ビーム描画方法、および荷電粒子ビーム照射装置 2022年 3月15日
特開 2022-34866 マルチ電子ビーム検査装置及びその調整方法 2022年 3月 4日
特開 2022-35477 マルチ電子ビーム描画装置及びマルチ電子ビーム描画方法 2022年 3月 4日
特開 2022-35663 光電面電子源 2022年 3月 4日
特開 2022-30301 マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 2022年 2月18日
特開 2022-25359 パターン検査装置及び輪郭線同士のアライメント量取得方法 2022年 2月10日
特開 2022-16779 パターン検査装置及びパターンの輪郭位置取得方法 2022年 1月25日
特開 2022-16780 パターン検査装置及びパターン検査方法 2022年 1月25日
特開 2022-7078 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 2022年 1月13日
特開 2022-7375 パターン検査装置及びパターン検査方法 2022年 1月13日

56 件中 46-56 件を表示

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2022-43453 2022-42861 2022-34866 2022-35477 2022-35663 2022-30301 2022-25359 2022-16779 2022-16780 2022-7078 2022-7375

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