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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第572位 53件
(2021年:第595位 53件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第398位 74件
(2021年:第483位 50件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2022-96502 | マルチビーム画像取得装置及びマルチビーム画像取得方法 | 2022年 6月29日 | |
特開 2022-94681 | 電子ビーム照射装置及び電子ビーム照射方法 | 2022年 6月27日 | |
特開 2022-94682 | 収差補正器 | 2022年 6月27日 | |
特開 2022-82165 | 荷電粒子ビーム照射装置 | 2022年 6月 1日 | |
特開 2022-81185 | 電子放出源の動作制御方法、電子ビーム描画方法、及び電子ビーム描画装置 | 2022年 5月31日 | |
特開 2022-77420 | 画像補正装置、パターン検査装置、及び画像補正方法 | 2022年 5月23日 | |
特開 2022-77421 | 電子ビーム検査装置及び電子ビーム検査方法 | 2022年 5月23日 | |
特開 2022-74059 | 整流板、流体導入装置、及び、成膜装置 | 2022年 5月17日 | |
特開 2022-69399 | ショットキー熱電界放出(TFE)源と一体化されたビームスプリッタ、ショットキー熱電界放出(TFE)源とビームスプリッタの一体化方法、及びマルチビーム形成方法 | 2022年 5月11日 | |
特開 2022-61181 | マルチ荷電粒子ビーム描画装置及びマルチ荷電粒子ビーム描画方法 | 2022年 4月18日 | |
特開 2022-56154 | マルチ荷電粒子ビーム照射装置およびマルチ荷電粒子ビーム照射方法 | 2022年 4月 8日 | |
特開 2022-56160 | パターン検査方法およびパターン検査装置 | 2022年 4月 8日 | |
特開 2022-52853 | 電子ビーム検査装置及び電子ビーム検査方法 | 2022年 4月 5日 | |
特開 2022-53208 | データ生成方法、荷電粒子ビーム照射装置及びプログラム | 2022年 4月 5日 | |
特開 2022-48989 | 静電ビーム転写レンズ及びマルチビーム電界放出型電子銃 | 2022年 3月28日 |
56 件中 31-45 件を表示
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2022-96502 2022-94681 2022-94682 2022-82165 2022-81185 2022-77420 2022-77421 2022-74059 2022-69399 2022-61181 2022-56154 2022-56160 2022-52853 2022-53208 2022-48989
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2月22日(土) - 東京 板橋区
2月22日(土) - 東京 板橋区
2月25日(火) -
2月25日(火) -
2月26日(水) -
2月26日(水) -
2月26日(水) - 東京 港区
2月26日(水) -
2月26日(水) - 千葉 船橋市
2月27日(木) -
2月27日(木) -
2月27日(木) - 東京 港区
2月27日(木) -
2月27日(木) - 東京 千代田区
2月25日(火) -
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