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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第263位 162件
(2014年: 0件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第236位 126件
(2014年: 0件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5751522 | プラズマの発生及びスパッタのためのコイル | 2015年 7月22日 | |
特許 5752238 | チャンバにガスを放射状に分配するための装置及びその使用方法 | 2015年 7月22日 | |
特許 5752868 | LCD‐TFTディスプレイの画素テスト方法 | 2015年 7月22日 | |
特許 5752939 | プラズマイオン注入を用いた磁区パターン形成 | 2015年 7月22日 | |
特許 5748839 | 回転ターゲットを支持するためのデバイスおよびスパッタリング設備 | 2015年 7月15日 | |
特許 5749020 | RF電力をプラズマチャンバに結合するための装置 | 2015年 7月15日 | |
特許 5744726 | 多重アクティブチャネル層を用いた薄膜トランジスタ | 2015年 7月 8日 | |
特許 5745203 | プラズマ反応器部品の製造方法 | 2015年 7月 8日 | |
特許 5745394 | 基板支持体、プラズマ反応装置、および、サセプターを形成する方法 | 2015年 7月 8日 | |
特許 5745504 | 研磨パッド窓の処理 | 2015年 7月 8日 | |
特許 5745764 | 分離されたスリットバルブドアシールコンパートメントを備えたロードロックチャンバ | 2015年 7月 8日 | |
特許 5746819 | 基板支持アセンブリ及び静電チャックアセンブリの平衡用回路内の切断された電気的な接続を修理するための方法 | 2015年 7月 8日 | |
特許 5743377 | ゲート電極構造及び製造方法 | 2015年 7月 1日 | |
特許 5743896 | 基板処理のための高温測定法 | 2015年 7月 1日 | |
特許 5740304 | フィールド強化型誘導結合プラズマ処理システムおよびプラズマ形成方法 | 2015年 6月24日 |
127 件中 46-60 件を表示
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5751522 5752238 5752868 5752939 5748839 5749020 5744726 5745203 5745394 5745504 5745764 5746819 5743377 5743896 5740304
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