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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第263位 162件
(2014年: 0件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第236位 126件
(2014年: 0件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5710591 | プロセスチャンバ壁上にシリコンコーティングを使用した残留フッ素ラジカルの除去の促進 | 2015年 4月30日 | |
特許 5704923 | 誘導結合プラズマチャンバの縁部性能を制御するための装置および方法 | 2015年 4月22日 | |
特許 5705224 | 傾斜可能なオーバーヘッドRF誘導源を備えたプラズマリアクタ | 2015年 4月22日 | |
特許 5705734 | 有機材料用の蒸発器 | 2015年 4月22日 | |
特許 5701214 | 強化された銅のイオン化を伴うPVD銅シードオーバーハング再スパッタ | 2015年 4月15日 | |
特許 5702045 | 斜めのビュー角度をもつ検査システム | 2015年 4月15日 | |
特許 5703224 | 有機材料のための蒸発器、及び、蒸発器を用いて基板を有機材料で被覆するための方法 | 2015年 4月15日 | |
特許 5703262 | 半導体プロセスチャンバ内において使用するための物品 | 2015年 4月15日 | |
特許 5698652 | 同軸マイクロ波支援堆積及びエッチングシステム | 2015年 4月 8日 | |
特許 5698719 | 化学蒸着エッチングチャンバから副生成物の堆積物を除去するインサイチュチャンバ洗浄プロセス | 2015年 4月 8日 | |
特許 5692955 | 熱除害反応器の安全、モニタリング及び制御機構 | 2015年 4月 1日 | |
特許 5694454 | 太陽光発電ソーラーパネル用接続箱 | 2015年 4月 1日 | |
特許 5688453 | フェムト秒レーザ及びプラズマエッチングを用いたウェハダイシング | 2015年 3月25日 | |
特許 5690828 | パルストレインアニール法を使用する薄膜の固相再結晶化の方法 | 2015年 3月25日 | |
特許 5690882 | 炭素質ハードマスクによる二重露光パターニング | 2015年 3月25日 |
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5710591 5704923 5705224 5705734 5701214 5702045 5703224 5703262 5698652 5698719 5692955 5694454 5688453 5690828 5690882
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