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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第263位 162件
(2014年: 0件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第236位 126件
(2014年: 0件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5777615 | CVDチャンバの流れ制御機構 | 2015年 9月 9日 | |
特許 5771638 | 複数マグネトロン、特に二段型褶曲マグネトロンの連動走査 | 2015年 9月 2日 | |
特許 5774059 | スペクトルを使用した研磨終了点の決定 | 2015年 9月 2日 | |
特許 5774071 | パルス化したサンプルバイアスを用いる、半導体構造をエッチングするためのパルス化プラズマシステム | 2015年 9月 2日 | |
特許 5771339 | 原子層堆積リソグラフィ | 2015年 8月26日 | |
特許 5762281 | RF物理気相蒸着用処理キット | 2015年 8月12日 | |
特許 5762542 | 半導体プロセスレシピの検証のコンピュータ実装方法及び持続性コンピュータ可読媒体 | 2015年 8月12日 | |
特許 5762705 | 酸化物形成方法 | 2015年 8月12日 | |
特許 5762964 | 回転可能なスパッタターゲットベース、回転可能なスパッタターゲット、コーティング装置、回転可能なスパッタターゲットを作成する方法、ターゲットベース接続手段 | 2015年 8月12日 | |
特許 5757869 | 表面処理された窒化アルミニウム製バッフルを製造する方法 | 2015年 8月 5日 | |
特許 5760017 | 気化・堆積装置 | 2015年 8月 5日 | |
特許 5754715 | ゲート電極構造及び製造方法 | 2015年 7月29日 | |
特許 5755579 | 急速熱処理チャンバ用のランプ | 2015年 7月29日 | |
特許 5756475 | アーク放電を低減させた静電チャック | 2015年 7月29日 | |
特許 5751520 | プラズマの発生及びスパッタのためのコイル | 2015年 7月22日 |
127 件中 31-45 件を表示
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5777615 5771638 5774059 5774071 5771339 5762281 5762542 5762705 5762964 5757869 5760017 5754715 5755579 5756475 5751520
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