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アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

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  2015年 出願公開件数ランキング    第263位 162件 上昇2014年: 0件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第236位 126件 上昇2014年: 0件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5777615 CVDチャンバの流れ制御機構 2015年 9月 9日
特許 5771638 複数マグネトロン、特に二段型褶曲マグネトロンの連動走査 2015年 9月 2日
特許 5774059 スペクトルを使用した研磨終了点の決定 2015年 9月 2日
特許 5774071 パルス化したサンプルバイアスを用いる、半導体構造をエッチングするためのパルス化プラズマシステム 2015年 9月 2日
特許 5771339 原子層堆積リソグラフィ 2015年 8月26日
特許 5762281 RF物理気相蒸着用処理キット 2015年 8月12日
特許 5762542 半導体プロセスレシピの検証のコンピュータ実装方法及び持続性コンピュータ可読媒体 2015年 8月12日
特許 5762705 酸化物形成方法 2015年 8月12日
特許 5762964 回転可能なスパッタターゲットベース、回転可能なスパッタターゲット、コーティング装置、回転可能なスパッタターゲットを作成する方法、ターゲットベース接続手段 2015年 8月12日
特許 5757869 表面処理された窒化アルミニウム製バッフルを製造する方法 2015年 8月 5日
特許 5760017 気化・堆積装置 2015年 8月 5日
特許 5754715 ゲート電極構造及び製造方法 2015年 7月29日
特許 5755579 急速熱処理チャンバ用のランプ 2015年 7月29日
特許 5756475 アーク放電を低減させた静電チャック 2015年 7月29日
特許 5751520 プラズマの発生及びスパッタのためのコイル 2015年 7月22日

127 件中 31-45 件を表示

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5777615 5771638 5774059 5774071 5771339 5762281 5762542 5762705 5762964 5757869 5760017 5754715 5755579 5756475 5751520

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