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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第263位 162件
(2014年: 0件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第236位 126件
(2014年: 0件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5805545 | ハロゲン含有プラズマに露出された表面の浸食速度を減じる装置及び方法 | 2015年11月 4日 | |
特許 5800447 | 基板移送用高温抗垂下エンドエフェクター | 2015年10月28日 | |
特許 5800800 | 基板にプロセスガスを供給する基板処理システム及び方法 | 2015年10月28日 | |
特許 5798283 | 軸対称及び均一熱プロファイルの真空チャック型ヒーター | 2015年10月21日 | |
特許 5798286 | 炭素質ハードマスクによる二重露光パターニング | 2015年10月21日 | |
特許 5798403 | 連通部開閉装置 | 2015年10月21日 | |
特許 5793555 | エンドブロックおよびスパッタリング装置 | 2015年10月14日 | |
特許 5789281 | 傾斜可能なオーバーヘッドRF誘導源を備えたプラズマリアクタ | 2015年10月 7日 | |
特許 5791699 | レーザビーム位置決めシステム | 2015年10月 7日 | |
特許 5791721 | 半導体デバイス内の閾値電圧を調整する方法 | 2015年10月 7日 | |
特許 5784703 | 回転磁石組立体及び中心に供給されるRF電力を有する物理蒸着チャンバ | 2015年 9月24日 | |
特許 5778110 | 化学機械研磨のための現場終点検出及びプロセス監視の方法並びに装置 | 2015年 9月16日 | |
特許 5780955 | 薄膜電池及びその製造方法 | 2015年 9月16日 | |
特許 5774482 | 処理中の基板の分光モニタリングにおける適合度 | 2015年 9月 9日 | |
特許 5774772 | 反応性堆積プロセスのためのガスシステム | 2015年 9月 9日 |
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5805545 5800447 5800800 5798283 5798286 5798403 5793555 5789281 5791699 5791721 5784703 5778110 5780955 5774482 5774772
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