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アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

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 ■ 2016年 出願公開件数ランキング    第194位 217件 (上昇2015年:第249位 162件)

 ■ 2016年 特許取得件数ランキング    第268位 121件 (下降2015年:第235位 126件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6023134 除害システムの効率的な運転のための方法及び装置 2016年11月 9日
特許 6019105 光学的終点検出システム 2016年11月 2日
特許 6017560 チャンバ内の基板を感知するための方法および装置 2016年11月 2日
特許 6017538 環境の影響の変動を伴う基準スペクトルの構築 2016年11月 2日
特許 6013774 電気化学堆積の装置および方法 2016年10月25日
特許 6009520 シリコン含有膜の平滑SiConiエッチング 2016年10月19日
特許 6009436 化学機械研磨における研磨速度補正のためのフィードバック 2016年10月19日
特許 6005697 PECVD処理チャンバにおけるバッキングプレートの強化 2016年10月12日
特許 6002672 チャンバコンポーネントを接合するために使用される接着材料 2016年10月 5日
特許 6000960 化学機械研磨消耗品のばらつきを補償する装置及び方法 2016年10月 5日
特許 5993974 基板をコーティングするための方法およびコータ 2016年 9月21日
特許 5992334 ウエハのエッジおよび斜面の堆積を修正するためのシャドウリング 2016年 9月14日
特許 5992513 酸化物表面でなくベアシリコンへのポリマー膜の選択的堆積 2016年 9月14日
特許 5992521 集積回路内に金属ケイ素化合物領域を形成する方法 2016年 9月14日
特許 5992519 UV支援型の光化学堆積によるプラズマ損傷を受けた低誘電率膜の誘電体の復旧 2016年 9月14日

121 件中 16-30 件を表示

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6023134 6019105 6017560 6017538 6013774 6009520 6009436 6005697 6002672 6000960 5993974 5992334 5992513 5992521 5992519

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