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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第207位 254件
(2016年:第200位 217件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第227位 136件
(2016年:第268位 121件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6126747 | ピクセル化された容量制御ESC | 2017年 5月10日 | |
特許 6127051 | ヒータを有する基板支持体 | 2017年 5月10日 | |
特許 6127064 | 薄膜電池パッケージ | 2017年 5月10日 | |
特許 6119060 | ガス流分布が改善された熱反応器 | 2017年 4月26日 | |
特許 6120092 | 大容量プリズムリチウムイオン合金アノードの製造 | 2017年 4月26日 | |
特許 6122004 | 電子デバイス製造において基板を輸送するように構成されるロボットシステム、装置及び方法 | 2017年 4月26日 | |
特許 6122841 | バッテリー活物質合成用の前駆体調合物 | 2017年 4月26日 | |
特許 6113214 | レーザ・プラズマエッチングによる基板のダイシング用水溶性マスク | 2017年 4月12日 | |
特許 6113658 | ロードロックチャンバ、基板処理システム、および通気方法 | 2017年 4月12日 | |
特許 6113841 | 基板上にスパッタリングされた材料の層をコーティングするための装置及び堆積システム | 2017年 4月12日 | |
特許 6114698 | デュアルロードロック構成内の除害及びストリップ処理チャンバ | 2017年 4月12日 | |
特許 6109159 | マルチパルスバーストのパルス列レーザ及びプラズマエッチングを用いたウェハダイシング | 2017年 4月 5日 | |
特許 6109832 | 静電チャック | 2017年 4月 5日 | |
特許 6109833 | レーザ処理設備においてスペックルを低減させるための装置および方法 | 2017年 4月 5日 | |
特許 6109852 | 基板上に第III−V族層を堆積させる方法 | 2017年 4月 5日 |
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6126747 6127051 6127064 6119060 6120092 6122004 6122841 6113214 6113658 6113841 6114698 6109159 6109832 6109833 6109852
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