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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第207位 254件
(2016年:第200位 217件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第227位 136件
(2016年:第268位 121件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6153200 | ヒータを備え急速に温度変化する基板支持体 | 2017年 6月28日 | |
特許 6153523 | 浸漬性能の改善のためのコーティングを有する基板支持エッジリング | 2017年 6月28日 | |
特許 6154390 | 静電チャック | 2017年 6月28日 | |
特許 6154547 | エキシマレーザアニーリング後にポリシリコン品質を向上させる方法 | 2017年 6月28日 | |
特許 6146948 | 銅表面上への選択的コバルト堆積 | 2017年 6月14日 | |
特許 6141356 | 半導体デバイス上に共形酸化物層を形成するための方法 | 2017年 6月 7日 | |
特許 6141405 | 堆積チャンバ用のエッジリング | 2017年 6月 7日 | |
特許 6143766 | チャンバ壁温度制御を備えたプラズマリアクタ | 2017年 6月 7日 | |
特許 6140681 | 測定ユニットを備えた蒸発システム | 2017年 5月31日 | |
特許 6133314 | 急速熱処理チャンバ | 2017年 5月24日 | |
特許 6134815 | 隣接スパッタカソードを用いた装置およびその操作方法 | 2017年 5月24日 | |
特許 6129354 | ウェブガイド制御ユニット、ウェブ処理装置、及びそれらを操作するための方法 | 2017年 5月17日 | |
特許 6129836 | 粒子合成装置および方法 | 2017年 5月17日 | |
特許 6129837 | 結晶化法 | 2017年 5月17日 | |
特許 6130304 | 保護されたバッキングプレートを有するPVDスパッタリングターゲット | 2017年 5月17日 |
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6153200 6153523 6154390 6154547 6146948 6141356 6141405 6143766 6140681 6133314 6134815 6129354 6129836 6129837 6130304
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