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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第207位 254件
(2016年:第200位 217件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第227位 136件
(2016年:第268位 121件)
(ランキング更新日:2025年6月26日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6082032 | 封止膜を堆積するための方法 | 2017年 2月15日 | |
特許 6076246 | ゾーン依存熱効率性を備えた温度制御されたプラズマ処理チャンバ部品 | 2017年 2月 8日 | |
特許 6076337 | プラズマチャンバのための伝送線RFアプリケータ | 2017年 2月 8日 | |
特許 6076969 | ピンホールフリー誘電体薄膜製造 | 2017年 2月 8日 | |
特許 6077995 | パルス状の熱伝導流体の流れを用いたプラズマ処理装置における温度制御 | 2017年 2月 8日 | |
特許 6078063 | 薄膜トランジスタデバイスの製造方法 | 2017年 2月 8日 | |
特許 6072046 | レーザ処理システム内の粒子制御 | 2017年 2月 1日 | |
特許 6073222 | 保定リングを用いた基板縁部調整 | 2017年 2月 1日 | |
特許 6073256 | ランプアセンブリを使用した基板下面のオフアングル加熱 | 2017年 2月 1日 | |
特許 6073383 | スパッタ堆積用の小型の回転可能なスパッタデバイス | 2017年 2月 1日 | |
特許 6068462 | 高速ガス交換、高速ガス切換、及びプログラミング可能なガス送出のための方法及び装置 | 2017年 1月25日 | |
特許 6061944 | 加熱管を冷却する熱交換器、蒸発器の加熱管、加熱管を備える蒸発器および蒸発器の加熱管を冷却する方法 | 2017年 1月18日 | |
特許 6064060 | 半導体アプリケーション用希土類酸化物系耐食性コーティング | 2017年 1月18日 | |
特許 6057196 | 連動特徴を有する2つの部分からなる保持リング | 2017年 1月11日 | |
特許 6058004 | マルチリンケージロボットを有するシステム及びマルチリンケージロボットにおいて位置アライメント及び回転アライメントを補正するための方法 | 2017年 1月11日 |
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6082032 6076246 6076337 6076969 6077995 6078063 6072046 6073222 6073256 6073383 6068462 6061944 6064060 6057196 6058004
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