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アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

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  2021年 出願公開件数ランキング    第132位 313件 上昇2020年:第138位 311件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第117位 241件 上昇2020年:第136位 210件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6821607 側壁ポアの封止とビアの清浄性のための配線集積化 2021年 1月27日
特許 6822953 基板キャリア及びパージチャンバの環境制御を伴う基板処理のシステム、装置、及び方法 2021年 1月27日
特許 6814879 基板をアライメントする装置、システム及び方法 2021年 1月20日
特許 6815302 対称プラズマ処理チャンバ 2021年 1月20日
特許 6815390 堆積装置を操作する方法、蒸発した源材料を基板に堆積する方法、及び堆積装置 2021年 1月20日
特許 6816004 プラズマ処理システム用の高温チャック 2021年 1月20日
特許 6816171 露光後ベークのための装置 2021年 1月20日
特許 6818678 改善された金属イオン濾過方法および装置 2021年 1月20日
特許 6818782 半導体処理用のガス分配シャワーヘッド 2021年 1月20日
特許 6811709 半導体プロセシング装置放出物の処理のためのコントローラ 2021年 1月13日
特許 6811732 処理チャンバ中のガス制御 2021年 1月13日
特許 6814213 プラズマ処理のためのアーキング検出装置 2021年 1月13日
特許 6806704 方位角方向に調整可能なマルチゾーン静電チャック 2021年 1月 6日
特許 6807656 膜スタック形成のためのデュアルチャネルシャワーヘッド 2021年 1月 6日
特許 6807860 3Dコンフォーマル処理用原子層処理チャンバ 2021年 1月 6日

242 件中 226-240 件を表示

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6821607 6822953 6814879 6815302 6815390 6816004 6816171 6818678 6818782 6811709 6811732 6814213 6806704 6807656 6807860

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