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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第132位 313件
(2020年:第138位 311件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第117位 241件
(2020年:第136位 210件)
(ランキング更新日:2025年6月26日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6838200 | 垂直方向にオフセットされた水平方向に部分的に重なり合うフログレッグリンケージを含むデュアルブレードロボットおよびそれを含むシステムと方法 | 2021年 3月 3日 | |
特許 6839096 | 基板の変形を矯正する方法及び装置 | 2021年 3月 3日 | |
特許 6832345 | 近似鋸歯状波パルス生成によるRF電力供給 | 2021年 2月24日 | |
特許 6833610 | 有機材料用の蒸発源、有機材料用の蒸発源を有する装置、有機材料用の蒸発源を含む蒸発堆積装置を有するシステム、及び有機材料用の蒸発源を操作するための方法 | 2021年 2月24日 | |
特許 6836328 | エピタキシャル成長装置用のチャンバ構成要素 | 2021年 2月24日 | |
特許 6831644 | プラズマ点源のアレイによってワークピースを処理するためのプラズマリアクタ | 2021年 2月17日 | |
特許 6824241 | 調節可能な遠隔解離 | 2021年 2月 3日 | |
特許 6824338 | シャワーヘッド支持構造 | 2021年 2月 3日 | |
特許 6826044 | バッファチャンバのウエハ加熱機構と支持ロボット | 2021年 2月 3日 | |
特許 6820103 | 耐プラズマ性セラミックスコーティングのスラリープラズマ溶射 | 2021年 1月27日 | |
特許 6820153 | 3D NANDメモリデバイスにおける垂直エッチング性能の改善のための、膜のプラズマ化学気相堆積 | 2021年 1月27日 | |
特許 6820359 | プラズマ耐食性希土類酸化物系薄膜コーティング | 2021年 1月27日 | |
特許 6820368 | フィードバックを用いて流量比コントローラを制御するための方法及びシステム | 2021年 1月27日 | |
特許 6820866 | リフレクタを有する処理チャンバ | 2021年 1月27日 | |
特許 6820972 | 較正ジグ | 2021年 1月27日 |
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6838200 6839096 6832345 6833610 6836328 6831644 6824241 6824338 6826044 6820103 6820153 6820359 6820368 6820866 6820972
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