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■ 2024年 出願公開件数ランキング 第41位 605件 (2023年:第32位 708件)
■ 2024年 特許取得件数ランキング 第47位 555件 (2023年:第80位 398件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7473645 | インシトゥチャンバモニタリングのための方法 | 2024年 4月23日 | |
特許 7473647 | 真空及びマイクロ波環境における温度を測定するための装置 | 2024年 4月23日 | |
特許 7473667 | リフレクタ膜の成長方法 | 2024年 4月23日 | |
特許 7473672 | イオン注入システムのための熱的に絶縁された捕捉フィーチャ | 2024年 4月23日 | |
特許 7473678 | 遠隔プラズマプロセス向けの対称的中空カソード電極および放電モードのための方法および装置 | 2024年 4月23日 | |
特許 7472111 | CMPプロセス制御アルゴリズムへの入力としてのマシンビジョン | 2024年 4月22日 | |
特許 7472272 | 蒸気供給方法および装置 | 2024年 4月22日 | |
特許 7472330 | 処理チャンバの処理空間に改善されたガス流を供給するための方法および装置 | 2024年 4月22日 | |
特許 7472344 | イオン注入半導体製造ツールにおける構成要素の故障の是正 | 2024年 4月22日 | |
特許 7471237 | 長い運動能力を有する精密な動的レベリング機構 | 2024年 4月19日 | |
特許 7471286 | ライナーレス連続アモルファス金属膜 | 2024年 4月19日 | |
特許 7471312 | センサ計測データ統合 | 2024年 4月19日 | |
特許 7471492 | 炭化タングステン膜の接着性及び欠陥を改善する技法 | 2024年 4月19日 | |
特許 7471506 | 光学装置及び光学装置計測の方法 | 2024年 4月19日 | |
特許 7470798 | ビット線抵抗を低減するためのシリコン含有層 | 2024年 4月18日 |
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7473645 7473647 7473667 7473672 7473678 7472111 7472272 7472330 7472344 7471237 7471286 7471312 7471492 7471506 7470798
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