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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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  2021年 出願公開件数ランキング    第1005位 27件 下降2020年:第802位 35件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第862位 24件 下降2020年:第450位 55件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6842461 光学補正構成、そのような光学補正構成を有する投影対物部、およびそのような投影対物部を有するマイクロリソグラフィ装置 2021年 3月17日
特許 6843864 コンポーネントを位置合わせするデバイス 2021年 3月17日
特許 6832844 特にマイクロリソグラフィ投影露光装置用のミラーモジュール 2021年 2月24日
特許 6830486 能動的に調整可能なメトロロジー支持ユニットを備える光学結像装置 2021年 2月17日
特許 6831865 リソグラフィマスクを測定するための結像光学ユニットの結像収差寄与を決定する方法 2021年 2月17日
特許 6826531 少なくとも1つのマニピュレータを有する投影露光装置 2021年 2月 3日
特許 6814195 特にマイクロリソグラフィ投影露光装置用のミラー 2021年 1月13日
特許 6814216 反射光学素子 2021年 1月13日
特許 6806565 投影露光系の物体視野を照明する方法 2021年 1月 6日

24 件中 16-24 件を表示

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6842461 6843864 6832844 6830486 6831865 6826531 6814195 6814216 6806565

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