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■ 2025年 出願公開件数ランキング 第428位 69件
(
2024年:第485位 63件)
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(
2024年:第517位 51件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7792451 | フォトマスクを検査するための方法ならびに測定デバイスおよびEUVカメラ | 2025年12月25日 | |
| 特許 7791939 | VUV放射線を反射する光学素子及び光学装置 | 2025年12月24日 | |
| 特許 7787155 | 放射劣化からの光学部品の光学材料の保護 | 2025年12月16日 | |
| 特許 7781305 | ウェハの結像データセットにおける異常の検出のためのコンピュータ実施方法、およびそのような方法を利用するシステム | 2025年12月 5日 | |
| 特許 7780484 | リソグラフィシステムのマスクを認定するための方法および装置 | 2025年12月 4日 | |
| 特許 7777146 | ファセットシステム及びリソグラフィ装置 | 2025年11月27日 | |
| 特許 7777178 | EUVマイクロリソグラフィ用のフォトマスクを検査するための測定デバイスおよび方法 | 2025年11月27日 | |
| 特許 7773689 | マスク修復のための方法および装置 | 2025年11月20日 | |
| 特許 7773589 | EUVリソグラフィ用マスクを検査するためのシステムおよび方法 | 2025年11月19日 | |
| 特許 7770568 | 光学測定システムによる物体の照明および結像中の光学生成システムの照明および結像特性をシミュレートするための瞳絞り形状を最適化するための方法 | 2025年11月14日 | |
| 特許 7769803 | レンズ用のマウント、アセンブリ、リソグラフィシステム、および方法 | 2025年11月13日 | |
| 特許 7767275 | 投影露光装置の照明光学ユニットのファセットミラー | 2025年11月11日 | |
| 特許 7765967 | ビーム誘導光学ユニットによって誘導された光ビームのビーム角を測定するためのデバイスおよび方法 | 2025年11月 7日 | |
| 特許 7762804 | フォトマスクに対する動作を較正するための方法および装置 | 2025年10月30日 | |
| 特許 7759689 | ペルチェモジュール、アセンブリ、マスク検査用の装置 | 2025年10月24日 |
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7792451 7791939 7787155 7781305 7780484 7777146 7777178 7773689 7773589 7770568 7769803 7767275 7765967 7762804 7759689
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