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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7724313 光学装置、目標変形を調整する方法、及びリソグラフィシステム 2025年 8月15日
特許 7724209 多走査電子顕微鏡法を使用したウェーハアライメント 2025年 8月15日
特許 7719089 ウェハ中の検査ボリュームの断面画像化の方法 2025年 8月 5日
特許 7717107 特にマイクロリソグラフィのための光学系および光学系を動作するための方法 2025年 8月 1日
特許 7713496 集束粒子ビームを使用してサンプルを結像(image)および処理するためのデバイス 2025年 7月25日
特許 7713092 粒子ビームを用いてサンプルを分析および/または処理するための装置および方法 2025年 7月24日
特許 7712926 光学系を装着する方法 2025年 7月24日
特許 7711224 投影露光装置及び投影露光装置のコンポーネントを設計する方法 2025年 7月22日
特許 7708791 特にマイクロリソグラフィ投影露光装置のミラー 2025年 7月15日
特許 7705433 メッシュ完全性検査 2025年 7月 9日
特許 7696000 光学装置及び光学装置を制御する方法 2025年 6月19日
特許 7692034 試料を粒子線で分析および/または処理するための装置および方法 2025年 6月12日
特許 7691935 光学素子の支持 2025年 6月12日
特許 7690654 測定又は検査装置及び表面を測定又は検査する方法 2025年 6月10日
特許 7678217 リソグラフィマスクのために用いられる蒸着材料の光学特性を決定するための方法および装置 2025年 5月15日

51 件中 31-45 件を表示

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7724313 7724209 7719089 7717107 7713496 7713092 7712926 7711224 7708791 7705433 7696000 7692034 7691935 7690654 7678217

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