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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7546153	試料を粒子線で分析および／または処理するための装置および方法	2024年 9月 5日
特許 7544957	少なくとも１つの軸に沿って変位可能であり、かつ少なくとも１つの軸を中心に回転可能である試料ステージ上のフォトマスクのアライメントを決定するための方法および装置	2024年 9月 3日
特許 7535568	マイクロツーリングデバイスの自動化された動作制御	2024年 8月16日
特許 7535577	構造化物体の表面にわたる測定光波長の測定光の光学的位相差を決定するための方法	2024年 8月16日
特許 7535667	特にマイクロリソグラフィ用の光学系を調整する方法	2024年 8月16日
特許 7526192	光学素子の支持	2024年 7月31日
特許 7520837	ＶＵＶ放射線を反射する光学素子及び光学装置	2024年 7月23日
特許 7511751	マイクロリソグラフィ用適応光学素子	2024年 7月 5日
特許 7511001	計測デバイスを較正する方法	2024年 7月 4日
特許 7511024	ＥＵＶリソグラフィ用マスクを検査するためのシステムおよび方法	2024年 7月 4日
特許 7510418	格子構造の形態の分光フィルタを備える投影露光装置の照射光学ユニット用のミラー、およびミラー上に格子構造の形態の分光フィルタを生成するための方法	2024年 7月 3日
特許 7510468	マイクロリソグラフィフォトマスクの欠陥の粒子ビーム誘起処理のための方法	2024年 7月 3日
特許 7506684	表面形状を干渉測定する計測法	2024年 6月26日
特許 7504885	アルミニウム層をインサイチュで保護する方法及びＶＵＶ波長域用の光学装置	2024年 6月24日
特許 7502992	投影リソグラフィ用の照明光学デバイス	2024年 6月19日

46 件中 16-30 件を表示

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7546153 7544957 7535568 7535577 7535667 7526192 7520837 7511751 7511001 7511024 7510418 7510468 7506684 7504885 7502992

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