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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー

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カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハーの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7503094	リソグラフィマスクへの測定光衝突に対する、波長依存測定光反射率の効果、および測定光の偏光の効果を測定する方法	2024年 6月19日
特許 7503097	マイクロリソグラフィ微細構造化構成要素の像を解析する方法および装置	2024年 6月19日
特許 7503098	測定される入射瞳内で照明光によって照明されたときの光学系の結像品質を決定するための方法	2024年 6月19日
特許 7496839	特にマイクロリソグラフィ投影露光装置用のミラー	2024年 6月 7日
特許 7495922	反射光学素子	2024年 6月 5日
特許 7493102	半導体リソグラフィ用の投影露光装置のアクチュエータを測定する方法及び装置	2024年 5月30日
特許 7482323	マイクロリソグラフィ用適応光学素子	2024年 5月13日
特許 7477577	結像光学製造システムの目標波面を再生する方法、およびその方法を実施する計測システム	2024年 5月 1日
特許 7475450	保護コーティングを有する光学素子、その製造方法及び光学装置	2024年 4月26日
特許 7461407	位置合わせ誤差を決定するための方法	2024年 4月 3日
特許 7441640	マイクロリソグラフィ投影露光装置に関してマニピュレータを制御する制御装置及び方法	2024年 3月 1日
特許 7438185	マイクロリソグラフィ投影露光装置用のミラー、及びデフォーマブルミラーの作動方法	2024年 2月26日
特許 7429691	ＥＵＶプラズマ源において励起レーザービームを測定するための計測システムおよび方法	2024年 2月 8日
特許 7426494	干渉形状計測用の測定装置	2024年 2月 1日
特許 7414883	計測システムの照明光学ユニットのための瞳絞り	2024年 1月16日

46 件中 31-45 件を表示

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7503094 7503097 7503098 7496839 7495922 7493102 7482323 7477577 7475450 7461407 7441640 7438185 7429691 7426494 7414883

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