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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第454位 71件
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2014年: 0件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特表 2015-537218 | 検出感度改善のための検査ビームの成形 | 2015年12月24日 | |
| 特表 2015-536487 | 向上された非線形結晶性能のための共振キャビティ調整法 | 2015年12月21日 | |
| 特表 2015-536012 | ホウ素層を有するシリコン基板を含むフォトカソード | 2015年12月17日 | |
| 特表 2015-535938 | 最小ビームスポットの寸法および位置を決定するシステムおよび方法 | 2015年12月17日 | |
| 特表 2015-535927 | 固体照射光源及び検査システム | 2015年12月17日 | |
| 特表 2015-535597 | 不偏ウェハの欠陥サンプル | 2015年12月14日 | |
| 特開 2015-222434 | 小型カタジオプトリック型対物系を用いた検査システム | 2015年12月10日 | |
| 特表 2015-534289 | 混合モードのウェハ検査のための方法およびシステム | 2015年11月26日 | |
| 特表 2015-534267 | 位置ずれ対象の不正確性を概算および補正するための方法 | 2015年11月26日 | |
| 特表 2015-532733 | 埋設SEM構造オーバーレイ標的を用いたOVLのためのデバイス相関計測法(DCM) | 2015年11月12日 | |
| 特表 2015-531966 | 水を含むレーザー維持プラズマ管球 | 2015年11月 5日 | |
| 特表 2015-531976 | ランプ動作温度の調整および制御による熱応力低減方法および装置 | 2015年11月 5日 | |
| 特表 2015-531984 | 高ビーム電流および低ビーム電流の両方を用いた、高解像度イメージングのための二重レンズ銃電子ビーム装置および方法 | 2015年11月 5日 | |
| 特表 2015-531056 | 複合型x線および光学計測のためのモデル構築ならびに解析エンジン | 2015年10月29日 | |
| 特表 2015-529855 | EUVマスク検査システムの光学系の波面収差計測 | 2015年10月 8日 |
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2015-537218 2015-536487 2015-536012 2015-535938 2015-535927 2015-535597 2015-222434 2015-534289 2015-534267 2015-532733 2015-531966 2015-531976 2015-531984 2015-531056 2015-529855
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