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ケーエルエー−テンカー コーポレイション

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  2015年 出願公開件数ランキング    第473位 71件 上昇2014年: 0件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第1019位 20件 上昇2014年: 0件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2015-537218 検出感度改善のための検査ビームの成形 2015年12月24日
特表 2015-536487 向上された非線形結晶性能のための共振キャビティ調整法 2015年12月21日
特表 2015-535927 固体照射光源及び検査システム 2015年12月17日
特表 2015-535938 最小ビームスポットの寸法および位置を決定するシステムおよび方法 2015年12月17日
特表 2015-536012 ホウ素層を有するシリコン基板を含むフォトカソード 2015年12月17日
特表 2015-535597 不偏ウェハの欠陥サンプル 2015年12月14日
特開 2015-222434 小型カタジオプトリック型対物系を用いた検査システム 2015年12月10日
特表 2015-534267 位置ずれ対象の不正確性を概算および補正するための方法 2015年11月26日
特表 2015-534289 混合モードのウェハ検査のための方法およびシステム 2015年11月26日
特表 2015-532733 埋設SEM構造オーバーレイ標的を用いたOVLのためのデバイス相関計測法(DCM) 2015年11月12日
特表 2015-531966 水を含むレーザー維持プラズマ管球 2015年11月 5日
特表 2015-531976 ランプ動作温度の調整および制御による熱応力低減方法および装置 2015年11月 5日
特表 2015-531984 高ビーム電流および低ビーム電流の両方を用いた、高解像度イメージングのための二重レンズ銃電子ビーム装置および方法 2015年11月 5日
特表 2015-531056 複合型x線および光学計測のためのモデル構築ならびに解析エンジン 2015年10月29日
特表 2015-529855 EUVマスク検査システムの光学系の波面収差計測 2015年10月 8日

73 件中 1-15 件を表示

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2015-537218 2015-536487 2015-535927 2015-535938 2015-536012 2015-535597 2015-222434 2015-534267 2015-534289 2015-532733 2015-531966 2015-531976 2015-531984 2015-531056 2015-529855

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