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ケーエルエー−テンカー コーポレイション

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  2017年 出願公開件数ランキング    第422位 98件 上昇2016年:第444位 78件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第472位 54件 上昇2016年:第483位 58件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2017-539076 構造情報を用いた欠陥検出 2017年12月28日
特表 2017-539078 製造プロセスラインに沿ったウェハの放射線および温度暴露を測定するための方法およびシステム 2017年12月28日
特開 2017-227934 散乱計測を用いてオーバレイ誤差を検出する装置および方法 2017年12月28日
特開 2017-228545 レーザー維持プラズマ光源向けプラズマ・セル 2017年12月28日
特開 2017-228805 ボロン層を有する裏面照光センサ 2017年12月28日
特表 2017-538113 光コンバイナ/スプリッタを有する二波長二重干渉計 2017年12月21日
特表 2017-538117 ワークピース欠陥検出用の装置、方法及びコンピュータプログラム製品 2017年12月21日
特表 2017-538292 ベロウズによる歪みウェハのチャッキング 2017年12月21日
特表 2017-537317 ランドスケープの解析および利用 2017年12月14日
特開 2017-219851 薄膜スペクトル純度フィルタコーティングとともに画像センサを使用するEUV化学線レチクル検査システム 2017年12月14日
特開 2017-219870 安定性が向上されたCW DUVレーザー 2017年12月14日
特表 2017-536533 暗視野におけるTDIセンサシステム 2017年12月 7日
特表 2017-536708 多様化と欠陥発見のためのダイナミック・ビニング 2017年12月 7日
特開 2017-216466 ビット不良および仮想検査を用いたウェハ検査プロセスの生成 2017年12月 7日
特表 2017-535772 デジタル整合フィルタによる強化欠陥検出のためのシステムおよび方法 2017年11月30日

98 件中 1-15 件を表示

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2017-539076 2017-539078 2017-227934 2017-228545 2017-228805 2017-538113 2017-538117 2017-538292 2017-537317 2017-219851 2017-219870 2017-536533 2017-536708 2017-216466 2017-535772

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