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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第444位 78件 (2015年:第473位 71件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第483位 58件 (2015年:第1019位 20件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2016-508627 | 193nmレーザー及び検査システム | 2016年 3月22日 | |
特表 2016-508295 | テンプレート画像マッチングを用いたウェーハ上の欠陥検出 | 2016年 3月17日 | |
特表 2016-507058 | パターン化された欠陥の輪郭ベースのアレイ検査 | 2016年 3月 7日 | |
特開 2016-29376 | 検査データと組み合わせて設計データを使用するための方法 | 2016年 3月 3日 | |
特表 2016-505211 | レーザのスペクトル帯域幅の低減 | 2016年 2月18日 | |
特表 2016-505218 | 活性プラズマ内原位置測定のための高温センサウェーハ | 2016年 2月18日 | |
特表 2016-504569 | 最適化されたシステムパラメータによる光学計測のための装置および方法 | 2016年 2月12日 | |
特表 2016-502655 | 表面検査における照明エネルギー管理 | 2016年 1月28日 | |
特表 2016-502729 | 収差補正およびイオンダメージ軽減のためのイメージインテンシファイア管設計 | 2016年 1月28日 | |
特表 2016-502750 | 欠陥特定情報を用いるウェハ上の欠陥の検出 | 2016年 1月28日 | |
特表 2016-502755 | 高アスペクト比及び大きい横方向寸法の構造体のための計測システム及び方法 | 2016年 1月28日 | |
特開 2016-15497 | 半導体装置レシピ管理システム及び方法 | 2016年 1月28日 | |
特表 2016-502075 | リアルタイムで膜の歪みを割り出して欠陥寸法測定を行うための膜厚、屈折率、及び消衰係数の決定 | 2016年 1月21日 | |
特表 2016-502094 | 相対的なクリティカルディメンションの測定のための方法および装置 | 2016年 1月21日 | |
特開 2016-11962 | 検査データと組み合わせて設計データを使用するための方法 | 2016年 1月21日 |
78 件中 61-75 件を表示
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2016-508627 2016-508295 2016-507058 2016-29376 2016-505211 2016-505218 2016-504569 2016-502655 2016-502729 2016-502750 2016-502755 2016-15497 2016-502075 2016-502094 2016-11962
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11月22日(金) -
11月22日(金) - 東京 千代田区
11月22日(金) - 東京 港区
11月22日(金) -
11月22日(金) - 大阪 大阪市
11月22日(金) -
11月22日(金) -
11月25日(月) -
11月25日(月) - 岐阜 各務原市
11月26日(火) -
11月26日(火) - 東京 港区
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月27日(水) - 東京 港区
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月28日(木) - 東京 港区
11月28日(木) - 島根 松江市
11月28日(木) - 京都 京都市
11月28日(木) -
11月28日(木) - 大阪 大阪市
11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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