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ケーエルエー−テンカー コーポレイション

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  2017年 出願公開件数ランキング    第422位 98件 上昇2016年:第444位 78件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第472位 54件 上昇2016年:第483位 58件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2017-523444 近接場リカバリを利用するレチクル検査 2017年 8月17日
特表 2017-523591 半導体パラメータを測定するための装置、技術、およびターゲットデザイン 2017年 8月17日
特表 2017-523604 自動的なレシピ安定性の監視および報告 2017年 8月17日
特表 2017-521653 インライン型のウェハエッジ検査、ウェハプレアラインメント、及びウェハ洗浄 2017年 8月 3日
特表 2017-519969 ウェハ検査のためのロジックの中のパターン抑制 2017年 7月20日
特表 2017-519971 共焦点ライン検査光学システム 2017年 7月20日
特開 2017-122920 向上したプロセス制御のための品質測定値を提供するための方法 2017年 7月13日
特表 2017-518609 高い水酸化物含有量を有する透過性部分を含む広帯域光源 2017年 7月 6日
特表 2017-517868 正確なフォトレジスト輪郭予測のためのモデル 2017年 6月29日
特表 2017-517870 物体検査用可変像面湾曲 2017年 6月29日
特表 2017-517119 2重ウィーンフィルタ単色計を用いる電子ビーム画像化 2017年 6月22日
特表 2017-517139 レーザ維持プラズマの横断方向のポンピングのためのシステムおよび方法 2017年 6月22日
特表 2017-516075 照明パターン形成を用いた圧縮センシング 2017年 6月15日
特表 2017-516107 光学式検査及び光学式レビューからの欠陥属性に基づく電子ビームレビューのための欠陥サンプリング 2017年 6月15日
特表 2017-516127 差分ダイおよび差分データベースを利用した検査 2017年 6月15日

98 件中 46-60 件を表示

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2017-523444 2017-523591 2017-523604 2017-521653 2017-519969 2017-519971 2017-122920 2017-518609 2017-517868 2017-517870 2017-517119 2017-517139 2017-516075 2017-516107 2017-516127

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