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ケーエルエー−テンカー コーポレイション

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  2018年 出願公開件数ランキング    第363位 103件 上昇2017年:第422位 98件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第358位 78件 上昇2017年:第472位 54件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6322141 変調光源を備える光学計測ツール 2018年 5月 9日
特許 6316800 半導体検査ツールにおいてサンプルステージの運動を時間遅延積分電荷結合素子で同期させる装置および方法 2018年 4月25日
特許 6316898 プラズマチャンバのためのプロセス条件検知デバイス及び方法 2018年 4月25日
特許 6312370 ウェーハジオメトリ計測ツールによるウェーハ表面フィーチャの検出、分類および定量化のためのシステムおよび方法 2018年 4月18日
特許 6312641 検査データと組み合わせて設計データを使用するための方法 2018年 4月18日
特許 6312642 検査データと組み合わせて設計データを使用するための方法 2018年 4月18日
特許 6312664 近接場計測 2018年 4月18日
特許 6312665 電気誘起ガス流によるレーザー維持プラズマ光源 2018年 4月18日
特許 6312682 EUVマスク検査システムの光学系の波面収差計測 2018年 4月18日
特許 6312822 可変電圧読出クロック信号を有するTDI撮像システム 2018年 4月18日
特許 6309078 低減されたデブリ生成を有するレーザ生成プラズマEUV源 2018年 4月11日
特許 6310920 高ビーム電流および低ビーム電流の両方を用いた、高解像度イメージングのための二重レンズ銃電子ビーム装置 2018年 4月11日
特許 6310929 表面検査における照明エネルギー管理 2018年 4月11日
特許 6305350 半導体デバイス検査システムにおけるアポダイゼーションのためのシステム 2018年 4月 4日
特許 6305396 超解像度検査システム 2018年 4月 4日

78 件中 46-60 件を表示

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6322141 6316800 6316898 6312370 6312641 6312642 6312664 6312665 6312682 6312822 6309078 6310920 6310929 6305350 6305396

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