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ケーエルエー−テンカー　コーポレイション

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ケーエルエー−テンカー　コーポレイションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6347820	欠陥に関係する用途のための三次元表現の使用	2018年 6月27日
特許 6345125	ウェハおよびレチクル検査システムならびに照明瞳配置を選択するための方法	2018年 6月20日
特許 6342046	ビット不良および仮想検査を用いたウェハ検査プロセスの生成	2018年 6月13日
特許 6339067	直交下層ダミーフィルを有するオーバレイターゲット	2018年 6月 6日
特許 6333734	レーザ維持プラズマ光源におけるＶＵＶフィルタリングを提供するためのプラズマセル	2018年 5月30日
特許 6328055	ＥＢＣＣＤ、ＥＢＣＣＤを操作させる方法、暗視野検査システム、検査方法および検査システム	2018年 5月23日
特許 6328063	処理済像を使用するレチクル検査時の選択的感度のための細線の検出	2018年 5月23日
特許 6328106	反射電子ビームリソグラフィのためのリニアステージ及び計測アーキテクチャ	2018年 5月23日
特許 6328225	光電子増倍管（ＰＭＴ）、イメージセンサ、及びＰＭＴ又はイメージセンサを用いた検査システム	2018年 5月23日
特許 6329209	設計ベースデバイスリスク評価	2018年 5月23日
特許 6324071	ＥＵＶ結像のための装置およびその装置を用いた方法	2018年 5月16日
特許 6324398	不偏ウェハの欠陥サンプル	2018年 5月16日
特許 6324963	固体照射光源及び検査システム	2018年 5月16日
特許 6325518	ＥＵＶレチクル検査ツールにおけるレチクルの取り扱い装置及び方法	2018年 5月16日
特許 6320387	埋設ＳＥＭ構造オーバーレイ標的を用いたＯＶＬのためのデバイス相関計測法（ＤＣＭ）	2018年 5月 9日

78 件中 31-45 件を表示

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6347820 6345125 6342046 6339067 6333734 6328055 6328063 6328106 6328225 6329209 6324071 6324398 6324963 6325518 6320387

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