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ケーエルエー−テンカー　コーポレイション

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ケーエルエー−テンカー　コーポレイションの商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 6305399	装置様散乱測定法のオーバーレイターゲット	2018年 4月 4日
特許 6305423	相対的なクリティカルディメンションの測定のための方法および装置	2018年 4月 4日
特許 6306639	デザイナ・インテント・データを使用するウェハとレチクルの検査の方法およびシステム	2018年 4月 4日
特許 6301354	混合モードのウェハ検査のための方法およびシステム	2018年 3月28日
特許 6293755	ランプ動作温度の調整および制御による熱応力低減方法および装置	2018年 3月14日
特許 6282643	ウェハ検査ツールのためのダイオードレーザーベースの広帯域光源	2018年 2月21日
特許 6282650	ウェーハの検査、及び／又はウェーハ上に形成されるデバイスの一つ若しくは複数の特性の予測	2018年 2月21日
特許 6282733	試料の欠陥検出及び光ルミネセンス測定のための系及び方法	2018年 2月21日
特許 6280118	自動検査シナリオ生成	2018年 2月14日
特許 6275240	１９３ｎｍレーザ及び１９３ｎｍレーザを用いた検査システム	2018年 2月 7日
特許 6275830	熱流束を測定するための方法及びシステム	2018年 2月 7日
特許 6276180	高速回転チャックを有するシステムにおける空気流管理	2018年 2月 7日
特許 6265608	ウェーハ表面計測のための高度化されたサイトベースのナノトポグラフィシステム及び方法	2018年 1月24日
特許 6266007	最適化されたシステムパラメータによる光学計測のための装置および方法	2018年 1月24日
特許 6266037	アクティブな平面オートフォーカス	2018年 1月24日

78 件中 61-75 件を表示

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6305399 6305423 6306639 6301354 6293755 6282643 6282650 6282733 6280118 6275240 6275830 6276180 6265608 6266007 6266037

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