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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第332位 104件
(2022年:第296位 118件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第345位 92件
(2022年:第335位 90件)
(ランキング更新日:2025年8月25日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7344340 | マルチカラム走査電子顕微鏡法システム | 2023年 9月13日 | |
特許 7333406 | 所望しない回折次数の存在下でのスキャトロメトリモデル化 | 2023年 8月24日 | |
特許 7330260 | ランプハウス補正を備えるプラズマ源 | 2023年 8月21日 | |
特許 7329597 | 実験計画法および応答曲面モデルを使用するプロセス最適化 | 2023年 8月18日 | |
特許 7329608 | 空間的に変化する偏光回転子および偏光子を用いた高感度粒子検出 | 2023年 8月18日 | |
特許 7329609 | 紫外及び可視波長のプラズモニックフォトカソードエミッタ及び方法 | 2023年 8月18日 | |
特許 7329637 | 電子ビームシステム及び方法 | 2023年 8月18日 | |
特許 7319342 | 装置、方法及びプログラム | 2023年 8月 1日 | |
特許 7317849 | リアルタイム測定制御のための方法およびシステム | 2023年 7月31日 | |
特許 7317131 | 結合された光および電子ビーム技術を使用する位置ずれ測定 | 2023年 7月28日 | |
特許 7316274 | 先進的機械学習技術を通じた計測正確度の自動最適化 | 2023年 7月27日 | |
特許 7309864 | スキャトロメトリオーバレイのための効率的な照明成形 | 2023年 7月18日 | |
特許 7308284 | 改善された計量用自己モアレ格子デザイン | 2023年 7月13日 | |
特許 7303868 | 位相解明光学及びX線半導体計量 | 2023年 7月 5日 | |
特許 7303887 | プロセス変動に対する計量感度を定量するためのスケーリング指標 | 2023年 7月 5日 |
92 件中 31-45 件を表示
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7344340 7333406 7330260 7329597 7329608 7329609 7329637 7319342 7317849 7317131 7316274 7309864 7308284 7303868 7303887
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