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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第272位 151件
(2018年:第314位 124件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第255位 108件
(2018年:第281位 102件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6606618 | 流体ハンドリング構造及びリソグラフィ装置 | 2019年11月13日 | |
特許 6606620 | リソグラフィ装置内での基板処理方法および基板処理装置 | 2019年11月13日 | |
特許 6602320 | 極端紫外光源 | 2019年11月 6日 | |
特許 6602388 | メトロロジ方法、メトロロジ装置、及びデバイス製造装置 | 2019年11月 6日 | |
特許 6600749 | トポグラフィ測定システム、測定装置、放射ソース、およびリソグラフィ装置 | 2019年10月30日 | |
特許 6595517 | リソグラフィ装置、デバイス製造方法、並びに関連付けられたデータ処理装置及びコンピュータプログラム製品 | 2019年10月23日 | |
特許 6590811 | 陰極構成体、電子銃、及びこのような電子銃を有するリソグラフィシステム | 2019年10月16日 | |
特許 6587651 | シリアルナンバーを有するセキュアチップ | 2019年10月 9日 | |
特許 6580203 | マルチステージシステムおよびリソグラフィ装置 | 2019年 9月25日 | |
特許 6580209 | リソグラフィ装置 | 2019年 9月25日 | |
特許 6580544 | 基板支持ユニット上に基板を位置合わせする方法および装置 | 2019年 9月25日 | |
特許 6580634 | 標的処理ユニット | 2019年 9月25日 | |
特許 6581220 | リソグラフィ装置及び方法 | 2019年 9月25日 | |
特許 6581673 | リソグラフィ装置および方法 | 2019年 9月25日 | |
特許 6576964 | リニアリラクタンスアクチュエータおよびリソグラフィ装置 | 2019年 9月18日 |
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6606618 6606620 6602320 6602388 6600749 6595517 6590811 6587651 6580203 6580209 6580544 6580634 6581220 6581673 6576964
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4月18日(金) - 北海道 千代田区
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