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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2019年 出願公開件数ランキング    第272位 151件 上昇2018年:第314位 124件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第255位 108件 上昇2018年:第281位 102件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6559685 極紫外光源 2019年 8月14日
特許 6560787 検査方法、リソグラフィ装置、マスクおよび基板 2019年 8月14日
特許 6560828 基板上の感光性材料を除去するための方法 2019年 8月14日
特許 6561039 ターゲット材料の供給および回収のための方法ならびに装置 2019年 8月14日
特許 6555703 リソグラフィ装置のための制御システムおよび方法 2019年 8月 7日
特許 6556195 リソグラフィ装置および方法 2019年 8月 7日
特許 6556869 支持装置、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 2019年 8月 7日
特許 6556929 露光装置 2019年 8月 7日
特許 6557394 露光装置 2019年 8月 7日
特許 6557403 リソグラフィ装置及び方法 2019年 8月 7日
特許 6557716 レーザ生成プラズマEUV光源 2019年 8月 7日
特許 6550623 リソグラフィ機のクラスタのためのネットワークアーキテクチャおよびプロトコル 2019年 7月31日
特許 6552649 可動サポート及びリソグラフィ装置 2019年 7月31日
特許 6553295 近接センサ、リソグラフィ装置、およびデバイス製造方法 2019年 7月31日
特許 6553817 位置センシング機構、そのような機構を含むリソグラフィ装置、位置センシング方法、及びデバイス製造方法 2019年 7月31日

113 件中 46-60 件を表示

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6559685 6560787 6560828 6561039 6555703 6556195 6556869 6556929 6557394 6557403 6557716 6550623 6552649 6553295 6553817

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