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■ 2019年 出願公開件数ランキング 第272位 151件 (2018年:第314位 124件)
■ 2019年 特許取得件数ランキング 第255位 108件 (2018年:第281位 102件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6521544 | リソグラフィ方法及び装置 | 2019年 5月29日 | |
特許 6518305 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 | 2019年 5月22日 | |
特許 6518819 | 露光装置 | 2019年 5月22日 | |
特許 6518831 | 露光装置 | 2019年 5月22日 | |
特許 6511069 | アンジュレータ | 2019年 5月15日 | |
特許 6511139 | 不均一なガス流によるレチクル冷却 | 2019年 5月15日 | |
特許 6511534 | リソグラフィ装置、及びデバイスを製造する方法 | 2019年 5月15日 | |
特許 6513797 | リソグラフィ装置 | 2019年 5月15日 | |
特許 6510081 | ガスゲージを有する装置およびそれを作動させる方法 | 2019年 5月 8日 | |
特許 6510521 | リソグラフィメトロロジのための方法、装置及び基板 | 2019年 5月 8日 | |
特許 6510658 | メトロロジの方法及び装置、コンピュータプログラム、並びにリソグラフィシステム | 2019年 5月 8日 | |
特許 6510675 | リソグラフィ方法及び装置 | 2019年 5月 8日 | |
特許 6496808 | 測定方法、測定装置、リソグラフィ装置、及びデバイス製造方法 | 2019年 4月10日 | |
特許 6498680 | 放射源 | 2019年 4月10日 | |
特許 6495484 | リソグラフィ装置及び基板をロードするための方法 | 2019年 4月 3日 |
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6521544 6518305 6518819 6518831 6511069 6511139 6511534 6513797 6510081 6510521 6510658 6510675 6496808 6498680 6495484
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11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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