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エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

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  2019年 出願公開件数ランキング    第272位 151件 上昇2018年:第314位 124件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第255位 108件 上昇2018年:第281位 102件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6577086 メトロロジ方法および装置、リソグラフィシステムならびにデバイス製造方法 2019年 9月18日
特許 6578436 トポグラフィ測定システム 2019年 9月18日
特許 6572378 リソグラフィ装置におけるパターニングデバイス冷却システム 2019年 9月11日
特許 6573706 リソグラフィ装置及び方法 2019年 9月11日
特許 6574086 レーザ作動光源 2019年 9月11日
特許 6571092 ビームデリバリ装置及び方法 2019年 9月 4日
特許 6571233 リソグラフィ方法および装置 2019年 9月 4日
特許 6571802 リソグラフィ装置、制御方法、及びコンピュータプログラム製品 2019年 9月 4日
特許 6567095 計測方法、検査装置、リソグラフィシステムおよびデバイス製造方法 2019年 8月28日
特許 6567523 メトロロジーターゲットの設計のための方法及び装置 2019年 8月28日
特許 6568298 リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 2019年 8月28日
特許 6562929 リソグラフィシステム 2019年 8月21日
特許 6563563 レーザ生成プラズマ極端紫外線光源のターゲット 2019年 8月21日
特許 6563600 振動絶縁デバイス、リソグラフィ装置、および振動絶縁システムを調節する方法 2019年 8月21日
特許 6563604 パターニングデバイス冷却装置 2019年 8月21日

113 件中 31-45 件を表示

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6577086 6578436 6572378 6573706 6574086 6571092 6571233 6571802 6567095 6567523 6568298 6562929 6563563 6563600 6563604

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