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トーキョー エレクトロン ユーエス ホールディングス,インコーポレーテッド

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  2022年 出願公開件数ランキング    第37581位 0件 下降2021年:第34147位 0件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第27906位 0件 下降2021年:第25492位 0件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特表 2022-525197 機械学習を用いた半導体製造データ取得機器における拡張された分解能 2022年 5月11日
特表 2022-521207 後面電力供給における交換用埋設電力レール 2022年 4月 6日
特表 2022-515349 照射されたエッチング溶液を使用した材料の粗さ低減方法 2022年 2月18日
特表 2022-515350 照射されたエッチング溶液を使用して材料の粗さを低減するための処理システム及びプラットフォーム 2022年 2月18日
特開 2022-27701 選択的原子層エッチング(ALE)を用いた平面化を改善するシステムおよび方法 2022年 2月14日
特開 2022-27791 光増感化学増幅レジスト(PS-CAR)シミュレーション 2022年 2月14日
特表 2022-513010 ウェハ上の欠陥、金属粒子汚染及び膜成長を抑制するシステム及び方法 2022年 2月 7日
特表 2022-509506 半導体素子のモノリシック3D集積を行うためのアーキテクチャ 2022年 1月20日
特表 2022-509511 マイクロ電子デバイスを製造するためのシステム及び方法 2022年 1月20日
特表 2022-507256 有機膜の平面化法 2022年 1月18日
特表 2022-507257 コンフォーマル膜の交互積層成長のための方法 2022年 1月18日
特表 2022-507400 自己律速型で有限溶解度の反応を使用した湿式原子層エッチングのための処理システム及びプラットフォーム 2022年 1月18日
特表 2022-507521 自己律速型で有限溶解度の反応を使用した湿式原子層エッチング 2022年 1月18日
特開 2022-8223 処理ツール用シャワーヘッド 2022年 1月13日
特表 2022-504574 半導体デバイス内の凹状特徴部を低抵抗率金属で充填する方法 2022年 1月13日

47 件中 31-45 件を表示

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2022-525197 2022-521207 2022-515349 2022-515350 2022-27701 2022-27791 2022-513010 2022-509506 2022-509511 2022-507256 2022-507257 2022-507400 2022-507521 2022-8223 2022-504574

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