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ギガフォトン株式会社

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  2022年 出願公開件数ランキング    第1474位 16件 下降2021年:第672位 45件)

  2022年 特許取得件数ランキング    第933位 24件 下降2021年:第701位 31件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7078723 エネルギ計測装置及びエキシマレーザ装置 2022年 5月31日
特許 7065138 光ビーム計測装置 2022年 5月11日
特許 7057922 レーザ照射システム 2022年 4月21日
特許 7049343 コンデンサの冷却構造及びレーザ装置 2022年 4月 6日
特許 7044807 極端紫外光生成装置及び電子デバイスの製造方法 2022年 3月30日
特許 7023293 レーザ照射システム、及び電子デバイスの製造方法 2022年 2月21日
特許 7014805 データ解析装置、半導体製造システム、データ解析方法、及び半導体製造方法 2022年 2月 1日
特許 6998382 波長変換装置 2022年 1月18日
特許 6990701 レーザ装置、及びEUV光生成システム 2022年 1月12日

24 件中 16-24 件を表示

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7078723 7065138 7057922 7049343 7044807 7023293 7014805 6998382 6990701

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