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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第1474位 16件
(2021年:第672位 45件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第933位 24件
(2021年:第701位 31件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 7078723 | エネルギ計測装置及びエキシマレーザ装置 | 2022年 5月31日 | |
特許 7065138 | 光ビーム計測装置 | 2022年 5月11日 | |
特許 7057922 | レーザ照射システム | 2022年 4月21日 | |
特許 7049343 | コンデンサの冷却構造及びレーザ装置 | 2022年 4月 6日 | |
特許 7044807 | 極端紫外光生成装置及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 3月30日 | |
特許 7023293 | レーザ照射システム、及び電子デバイスの製造方法 | 2022年 2月21日 | |
特許 7014805 | データ解析装置、半導体製造システム、データ解析方法、及び半導体製造方法 | 2022年 2月 1日 | |
特許 6998382 | 波長変換装置 | 2022年 1月18日 | |
特許 6990701 | レーザ装置、及びEUV光生成システム | 2022年 1月12日 |
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7078723 7065138 7057922 7049343 7044807 7023293 7014805 6998382 6990701
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4月23日(水) -
4月23日(水) -
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4月24日(木) -
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