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株式会社SUMCO

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  2014年 出願公開件数ランキング    第737位 41件 下降2013年:第585位 64件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第212位 189件 上昇2013年:第276位 144件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5454091 仕上研磨前シリコンウェーハの表面平坦化方法およびシリコンウェーハの表面平坦化装置 2014年 3月26日
特許 5453679 シリカガラスルツボの製造装置及びシリカガラスルツボの製造方法 2014年 3月26日
特許 5453677 シリカガラスルツボ、シリコンインゴットの製造方法 2014年 3月26日
特許 5454152 エピタキシャルウェーハの製造装置 2014年 3月26日
特許 5453967 エピタキシャルウェーハおよびその製造方法 2014年 3月26日
特許 5454625 シリコン単結晶の引上げ方法により引上げられたインゴットから得られたシリコン単結晶ウェーハ 2014年 3月26日
特許 5453749 垂直シリコンデバイス用シリコンウェーハの製造方法及び垂直シリコンデバイス用シリコン単結晶引き上げ装置 2014年 3月26日
特許 5446760 エピタキシャル成長方法 2014年 3月19日
特許 5444607 エピタキシャル膜形成装置用のサセプタ、エピタキシャル膜形成装置、エピタキシャルウェーハの製造方法 2014年 3月19日
特許 5446277 シリコン単結晶の製造方法 2014年 3月19日
特許 5446160 再生シリコンウェーハの製造方法 2014年 3月19日
特許 5445631 シリコンウェーハの製造方法 2014年 3月19日
特許 5446251 半導体評価装置 2014年 3月19日
特許 5445075 エピタキシャルウェーハの製造方法 2014年 3月19日
特許 5444874 エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法 2014年 3月19日

189 件中 121-135 件を表示

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5454091 5453679 5453677 5454152 5453967 5454625 5453749 5446760 5444607 5446277 5446160 5445631 5446251 5445075 5444874

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