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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第539位 67件
(2010年:第2457位 9件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第817位 34件
(2010年:第22882位 0件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 4778642 | 投影露光装置 | 2011年 9月21日 | |
特許 4771730 | 結像性能の最適化方法 | 2011年 9月14日 | |
特許 4772023 | 位置の操作および/または決定のための運動部材を有する光学装置 | 2011年 9月14日 | |
特許 4769788 | レーザ放射線のコヒーレンスを低減させるためのシステム | 2011年 9月 7日 | |
特許 4750043 | 光学素子のための交換装置 | 2011年 8月17日 | |
特許 4750183 | マイクロリソグラフィー投影光学系 | 2011年 8月17日 | |
特許 4751958 | 光学要素とマウントからなるアセンブリ | 2011年 8月17日 | |
特許 4747263 | オブジェクティブにおける光学素子のための保持装置 | 2011年 8月17日 | 共同出願 |
特許 4730675 | マイクロリソグラフィ投影露光装置及びマイクロリソグラフィ露光方法 | 2011年 7月20日 | |
特許 4717813 | マイクロリソグラフィ投影露光設備のための照明系 | 2011年 7月 6日 | |
特許 4700697 | 非対称瞳照射を補償するフィルタ装置 | 2011年 6月15日 | |
特許 4693947 | カタディオプトリック光学系およびそれを有する露光装置 | 2011年 6月 1日 | |
特許 4667580 | 2つの中間像を持つ反射屈折対物レンズ | 2011年 4月13日 | |
特許 4658418 | 低い熱伝導性の熱負荷を受ける本体に対する温度補償装置 | 2011年 3月23日 | |
特許 4653160 | 光学素子 | 2011年 3月16日 |
34 件中 16-30 件を表示
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4778642 4771730 4772023 4769788 4750043 4750183 4751958 4747263 4730675 4717813 4700697 4693947 4667580 4658418 4653160
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2月25日(火) -
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