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東京エレクトロン株式会社

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  2016年 出願公開件数ランキング    第61位 616件 下降2015年:第56位 677件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第49位 561件 上昇2015年:第51位 433件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5878187 トランジスタの製造方法 2016年 3月 8日
特許 5878771 誘導結合プラズマ処理方法および誘導結合プラズマ処理装置 2016年 3月 8日
特許 5878813 バッチ式処理装置 2016年 3月 8日
特許 5879069 プラズマ処理装置の上部電極の製造方法 2016年 3月 8日
特許 5880247 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2016年 3月 8日
特許 5874469 トラップ装置及び成膜装置 2016年 3月 2日
特許 5874514 液処理装置、液処理方法および記憶媒体 2016年 3月 2日
特許 5874629 基板搬送方法、基板搬送装置及び記憶媒体 2016年 3月 2日
特許 5875306 管継手 2016年 3月 2日
特許 5875775 基板除去方法及び記憶媒体 2016年 3月 2日
特許 5875962 剥離装置、剥離システムおよび剥離方法 2016年 3月 2日
特許 5876248 パーティクルモニタ方法、パーティクルモニタ装置 2016年 3月 2日
特許 5876348 ヒータ素線検査方法 2016年 3月 2日
特許 5876398 成膜方法及び成膜装置 2016年 3月 2日
特許 5876463 プラズマ処理装置 2016年 3月 2日

572 件中 481-495 件を表示

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5878187 5878771 5878813 5879069 5880247 5874469 5874514 5874629 5875306 5875775 5875962 5876248 5876348 5876398 5876463

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