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東京エレクトロン株式会社

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東京エレクトロン株式会社の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 5895712	原料ガス供給装置、成膜装置、原料ガスの供給方法及び記憶媒体	2016年 3月30日
特許 5895974	縦型熱処理装置	2016年 3月30日
特許 5897275	温度制御ユニット、基板載置台、基板処理装置、温度制御システム、及び基板処理方法	2016年 3月30日
特許 5897425	触媒の吸着処理方法および吸着処理装置	2016年 3月30日
特許 5893280	縦型熱処理装置	2016年 3月23日
特許 5893516	被処理体の処理装置及び被処理体の載置台	2016年 3月23日
特許 5893592	液処理装置	2016年 3月23日
特許 5893823	基板液処理装置及び基板液処理方法並びに基板液処理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体	2016年 3月23日
特許 5893864	プラズマエッチング方法	2016年 3月23日
特許 5893865	プラズマ処理装置およびマイクロ波導入装置	2016年 3月23日
特許 5893882	パーティクル捕集装置及びパーティクルの捕集方法	2016年 3月23日
特許 5889581	ウエハ検査装置	2016年 3月22日
特許 5889710	成膜装置および成膜方法	2016年 3月22日
特許 5889814	基板搬送装置、基板処理装置および基板収容方法	2016年 3月22日
特許 5890204	スラグチューナ、それを用いたマイクロ波プラズマ源、およびマイクロ波プラズマ処理装置	2016年 3月22日

572 件中 436-450 件を表示

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5895712 5895974 5897275 5897425 5893280 5893516 5893592 5893823 5893864 5893865 5893882 5889581 5889710 5889814 5890204

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