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東京エレクトロン株式会社

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  2016年 出願公開件数ランキング    第61位 616件 下降2015年:第56位 677件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第49位 561件 上昇2015年:第51位 433件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5883470 液処理装置、液処理方法及びその液処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 2016年 3月15日
特許 5883531 防汚処理組成物、処理装置、処理方法および処理物品 2016年 3月15日
特許 5884500 成膜装置 2016年 3月15日
特許 5884624 基板処理装置、調整方法及び記憶媒体 2016年 3月15日
特許 5880627 原料供給装置及び半導体製造装置 2016年 3月 9日
特許 5881565 基板処理方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2016年 3月 9日
特許 5881612 半導体装置の製造方法および製造装置 2016年 3月 9日
特許 5882075 キャパシタの製造方法、キャパシタ、およびそれに用いられる誘電体膜の形成方法 2016年 3月 9日
特許 5882167 熱処理装置 2016年 3月 9日
特許 5882777 成膜装置 2016年 3月 9日
特許 5882939 接合方法、接合装置および接合システム 2016年 3月 9日
特許 5883154 成膜装置 2016年 3月 9日
特許 5883232 基板処理装置 2016年 3月 9日
特許 5877908 補正値算出装置、補正値算出方法及びコンピュータプログラム 2016年 3月 8日
特許 5878091 エッチング方法 2016年 3月 8日

572 件中 466-480 件を表示

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5883470 5883531 5884500 5884624 5880627 5881565 5881612 5882075 5882167 5882777 5882939 5883154 5883232 5877908 5878091

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