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東京エレクトロン株式会社

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  2016年 出願公開件数ランキング    第61位 616件 下降2015年:第56位 677件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第49位 561件 上昇2015年:第51位 433件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6045937 群管理システム及びプログラム 2016年12月14日
特許 6045972 接合装置、接合システムおよび接合方法 2016年12月14日
特許 6045975 カーボン膜の成膜方法および成膜装置 2016年12月14日
特許 6045993 プローブ装置 2016年12月14日
特許 6046007 接合システム 2016年12月14日
特許 6046052 プラズマ発生用アンテナ、プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2016年12月14日
特許 6046225 基板処理方法、この基板処理方法を実行するためのコンピュータプログラムが記録された記録媒体、および基板処理装置 2016年12月14日
特許 6037688 マイクロ波導入モジュールにおける異常検知方法 2016年12月 7日
特許 6038739 処理装置 2016年12月 7日
特許 6039534 カーボンナノチューブの生成方法及び配線形成方法 2016年12月 7日
特許 6039616 グラフェンの下地膜の生成方法、グラフェンの生成方法及びグラフェンの下地膜生成装置 2016年12月 7日
特許 6040123 接合方法および接合システム 2016年12月 7日
特許 6040609 成膜装置及び成膜方法 2016年12月 7日
特許 6040757 搬送機構の位置決め方法、被処理体の位置ずれ量算出方法及び搬送機構のティーチングデータの修正方法 2016年12月 7日
特許 6040883 基板搬送装置、基板搬送方法及び記憶媒体 2016年12月 7日

572 件中 46-60 件を表示

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6045937 6045972 6045975 6045993 6046007 6046052 6046225 6037688 6038739 6039534 6039616 6040123 6040609 6040757 6040883

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