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東京エレクトロン株式会社

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  2016年 出願公開件数ランキング    第61位 616件 下降2015年:第56位 677件)

  2016年 特許取得件数ランキング    第49位 561件 上昇2015年:第51位 433件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6033048 液処理装置 2016年11月30日
特許 6033453 多変量解析を用いたプラズマエンドポイント検出 2016年11月30日
特許 6033595 基板処理装置及び基板処理装置における距離測定方法 2016年11月30日
特許 6033785 エッチング方法及び装置 2016年11月30日
特許 6034156 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2016年11月30日
特許 6034655 プラズマ処理装置 2016年11月30日
特許 6035117 プラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置 2016年11月30日
特許 6035279 膜厚測定装置、膜厚測定方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2016年11月30日
特許 6036742 集塵用治具、基板処理装置及びパーティクル捕集方法。 2016年11月30日
特許 6029452 基板処理装置 2016年11月24日
特許 6029522 パターンを形成する方法 2016年11月24日
特許 6029623 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法、ならびにコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 2016年11月24日
特許 6030099 残渣層除去方法及び残渣層除去装置 2016年11月24日
特許 6030439 マンガン含有膜の形成方法、処理システム、および電子デバイスの製造方法 2016年11月24日
特許 6030455 シリコン酸化物膜の成膜方法 2016年11月24日

572 件中 61-75 件を表示

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6033048 6033453 6033595 6033785 6034156 6034655 6035117 6035279 6036742 6029452 6029522 6029623 6030099 6030439 6030455

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