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東京エレクトロン株式会社

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  2017年 出願公開件数ランキング    第83位 585件 下降2016年:第61位 616件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第66位 431件 下降2016年:第49位 561件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6246749 ウエットエッチング方法、基板液処理装置および記憶媒体 2017年12月13日
特許 6247087 処理装置および活性種の生成方法 2017年12月13日
特許 6247181 シリコン又はゲルマニウム又はシリコンゲルマニウム膜の成膜方法および成膜装置 2017年12月13日
特許 6247995 接合方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、接合装置及び接合システム 2017年12月13日
特許 6242283 成膜方法 2017年12月 6日
特許 6242288 プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 2017年12月 6日
特許 6243290 成膜方法及び成膜装置 2017年12月 6日
特許 6243722 エッチング処理方法 2017年12月 6日
特許 6244188 接合装置、接合方法および接合システム 2017年12月 6日
特許 6244277 基板液処理装置及び基板液処理方法並びに基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 2017年12月 6日
特許 6244317 基板処理装置 2017年12月 6日
特許 6244324 基板処理装置及び基板処理方法 2017年12月 6日
特許 6244329 基板の検査方法、基板処理システム及びコンピュータ記憶媒体 2017年12月 6日
特許 6244402 磁気抵抗素子の製造方法及び磁気抵抗素子の製造システム 2017年12月 6日
特許 6237264 縦型熱処理装置、熱処理方法及び記憶媒体 2017年11月29日

440 件中 16-30 件を表示

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6246749 6247087 6247181 6247995 6242283 6242288 6243290 6243722 6244188 6244277 6244317 6244324 6244329 6244402 6237264

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