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東京エレクトロン株式会社

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  2017年 出願公開件数ランキング    第83位 585件 下降2016年:第61位 616件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第66位 431件 下降2016年:第49位 561件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6220649 金属膜の成膜方法 2017年10月25日
特許 6213487 縦型熱処理装置の運転方法、記憶媒体及び縦型熱処理装置 2017年10月18日
特許 6215002 フォーカスリングの製造方法及びプラズマ処理装置の製造方法 2017年10月18日
特許 6215787 現像方法、現像装置、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2017年10月18日
特許 6216289 基板処理装置、ノズル洗浄方法およびノズル洗浄装置 2017年10月18日
特許 6216619 プラズマ処理装置 2017年10月18日
特許 6210935 研磨洗浄機構、基板処理装置及び基板処理方法 2017年10月11日
特許 6211458 基板液処理装置及び基板液処理方法 2017年10月11日
特許 6211478 触媒層形成方法、触媒層形成システムおよび記憶媒体 2017年10月11日
特許 6211877 基板処理システム 2017年10月11日
特許 6211886 加熱処理方法及び加熱処理装置 2017年10月11日
特許 6211893 エッチング処理方法及び基板処理装置 2017年10月11日
特許 6211938 基板熱処理装置、基板熱処理装置の設置方法 2017年10月11日
特許 6211941 成膜方法および成膜装置 2017年10月11日
特許 6211947 半導体装置の製造方法 2017年10月11日

440 件中 91-105 件を表示

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6220649 6213487 6215002 6215787 6216289 6216619 6210935 6211458 6211478 6211877 6211886 6211893 6211938 6211941 6211947

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