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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第83位 585件
(2016年:第61位 616件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第66位 431件
(2016年:第49位 561件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 6224479 | 重合膜の成膜方法および成膜装置 | 2017年11月 1日 | |
特許 6224515 | 基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | 2017年11月 1日 | |
特許 6224780 | 基板処理システム | 2017年11月 1日 | |
特許 6224958 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | 2017年11月 1日 | |
特許 6225067 | 基板液処理装置及び基板液処理方法 | 2017年11月 1日 | |
特許 6225243 | マイクロ波処理システムおよび基板処理方法 | 2017年11月 1日 | |
特許 6225269 | グラホエピタキシャル用途におけるブロックコポリマーの組織化を誘導するトポグラフィの使用 | 2017年11月 1日 | |
特許 6218650 | プラズマ処理装置 | 2017年10月25日 | |
特許 6219179 | プラズマ処理装置 | 2017年10月25日 | |
特許 6219227 | ヒータ給電機構及びステージの温度制御方法 | 2017年10月25日 | |
特許 6219229 | ヒータ給電機構 | 2017年10月25日 | |
特許 6219415 | 培養装置 | 2017年10月25日 | |
特許 6219674 | ブロック共重合体を使用したエッチング | 2017年10月25日 | |
特許 6220312 | 基板処理装置、基板処理装置の基板検知方法および記憶媒体 | 2017年10月25日 | |
特許 6220596 | プローバ | 2017年10月25日 |
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6224479 6224515 6224780 6224958 6225067 6225243 6225269 6218650 6219179 6219227 6219229 6219415 6219674 6220312 6220596
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9月12日(金) -
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