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東京エレクトロン株式会社

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  2017年 出願公開件数ランキング    第83位 585件 下降2016年:第61位 616件)

  2017年 特許取得件数ランキング    第66位 431件 下降2016年:第49位 561件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6230898 エッチング方法 2017年11月15日
特許 6230900 基板処理装置 2017年11月15日
特許 6230930 半導体装置の製造方法 2017年11月15日
特許 6230954 エッチング方法 2017年11月15日
特許 6230986 プラズマ処理装置 2017年11月15日
特許 6231370 消耗量測定装置、温度測定装置、消耗量測定方法、温度測定方法及び基板処理システム 2017年11月15日
特許 6231450 基板処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板処理システム 2017年11月15日
特許 6231937 接合装置及び接合システム 2017年11月15日
特許 6231956 基板処理装置 2017年11月15日
特許 6232041 成膜方法および成膜装置 2017年11月15日
特許 6232219 多層保護膜の形成方法 2017年11月15日
特許 6232277 有機EL素子構造、その製造方法及び発光パネル 2017年11月15日
特許 6225837 成膜装置、成膜方法、記憶媒体 2017年11月 8日
特許 6225842 成膜装置、成膜方法、記憶媒体 2017年11月 8日
特許 6226668 プラズマ処理方法 2017年11月 8日

440 件中 46-60 件を表示

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6230898 6230900 6230930 6230954 6230986 6231370 6231450 6231937 6231956 6232041 6232219 6232277 6225837 6225842 6226668

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