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東京エレクトロン株式会社

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  2018年 特許取得件数ランキング    第50位 503件 上昇2017年:第66位 431件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6438320 プラズマ処理装置 2018年12月12日
特許 6432458 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2018年12月 5日
特許 6432507 成膜装置 2018年12月 5日
特許 6432644 塗布膜形成装置、塗布膜形成方法、記憶媒体 2018年12月 5日
特許 6434367 基板液処理装置及び基板液処理方法並びに基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 2018年12月 5日
特許 6434383 基板処理装置、連携処理システムおよび基板処理方法 2018年12月 5日
特許 6435090 プラズマ処理装置 2018年12月 5日
特許 6428466 基板処理方法、基板処理装置、基板処理システム及び記憶媒体 2018年11月28日
特許 6430156 基板処理システム、仕切弁及び基板搬送方法 2018年11月28日
特許 6430233 伝熱シート及び基板処理装置 2018年11月28日
特許 6430322 基板液処理装置、基板液処理方法および記憶媒体 2018年11月28日
特許 6430784 基板液処理装置 2018年11月28日
特許 6430870 クランプ装置及びこれを用いた基板搬入出装置、並びに基板処理装置 2018年11月28日
特許 6431472 パターン形成方法 2018年11月28日
特許 6431557 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 2018年11月28日

507 件中 31-45 件を表示

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6438320 6432458 6432507 6432644 6434367 6434383 6435090 6428466 6430156 6430233 6430322 6430784 6430870 6431472 6431557

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