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東京エレクトロン株式会社

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  2018年 出願公開件数ランキング    第67位 588件 上昇2017年:第83位 585件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第50位 503件 上昇2017年:第66位 431件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6411279 めっき処理方法および記憶媒体 2018年10月24日
特許 6411571 基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2018年10月24日
特許 6411692 基板検査システム 2018年10月24日
特許 6411741 電解処理方法及び電解処理装置 2018年10月24日
特許 6412322 半導体デバイス、その製造方法、及びその製造装置 2018年10月24日
特許 6412466 基板処理装置及び基板処理方法 2018年10月24日
特許 6412804 接合方法および接合システム 2018年10月24日
特許 6412839 磁化処理装置及び磁化処理方法 2018年10月24日
特許 6412845 基板処理装置、基板処理方法及び記録媒体 2018年10月24日
特許 6405290 基板処理装置、基板処理方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 2018年10月17日
特許 6405314 成膜装置及び成膜方法 2018年10月17日
特許 6405819 アライメント装置 2018年10月17日
特許 6405958 エッチング方法、記憶媒体及びエッチング装置 2018年10月17日
特許 6406192 加熱処理装置、加熱処理方法及び記憶媒体 2018年10月17日
特許 6406201 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2018年10月17日

507 件中 91-105 件を表示

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6411279 6411571 6411692 6411741 6412322 6412466 6412804 6412839 6412845 6405290 6405314 6405819 6405958 6406192 6406201

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