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東京エレクトロン株式会社

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  2018年 出願公開件数ランキング    第67位 588件 上昇2017年:第83位 585件)

  2018年 特許取得件数ランキング    第50位 503件 上昇2017年:第66位 431件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6441050 成膜方法 2018年12月19日
特許 6441176 基板処理方法、基板処理装置および記憶媒体 2018年12月19日
特許 6441198 基板液処理装置及び基板液処理方法並びに基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 2018年12月19日
特許 6441422 エッチング方法、エッチング装置および記憶媒体 2018年12月19日
特許 6441499 基板処理方法、基板処理装置、基板処理システム及び記憶媒体 2018年12月19日
特許 6441994 多孔質膜をエッチングする方法 2018年12月19日
特許 6442296 載置台及びプラズマ処理装置 2018年12月19日
特許 6442377 ポンプ装置セット及び液供給システム 2018年12月19日
特許 6442582 基板処理装置、基板処理方法及び記録媒体 2018年12月19日
特許 6442596 基板搬送装置および基板搬送方法 2018年12月19日
特許 6442622 基板処理装置のチャンバークリーニング方法 2018年12月19日
特許 6435667 エッチング方法、エッチング装置及び記憶媒体 2018年12月12日
特許 6435967 縦型熱処理装置 2018年12月12日
特許 6436068 基板処理方法及び基板処理装置 2018年12月12日
特許 6437324 タングステン膜の成膜方法および半導体装置の製造方法 2018年12月12日

507 件中 16-30 件を表示

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6441050 6441176 6441198 6441422 6441499 6441994 6442296 6442377 6442582 6442596 6442622 6435667 6435967 6436068 6437324

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