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東京エレクトロン株式会社
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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第67位 588件
（
2017年：第83位 585件）
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第50位 503件
（2017年：第66位 431件）
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東京エレクトロン株式会社の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6441050 | 成膜方法 | 2018年12月19日 | |
| 特許 6441176 | 基板処理方法、基板処理装置および記憶媒体 | 2018年12月19日 | |
| 特許 6441198 | 基板液処理装置及び基板液処理方法並びに基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 | 2018年12月19日 | |
| 特許 6441422 | エッチング方法、エッチング装置および記憶媒体 | 2018年12月19日 | |
| 特許 6441499 | 基板処理方法、基板処理装置、基板処理システム及び記憶媒体 | 2018年12月19日 | |
| 特許 6441994 | 多孔質膜をエッチングする方法 | 2018年12月19日 | |
| 特許 6442296 | 載置台及びプラズマ処理装置 | 2018年12月19日 | |
| 特許 6442377 | ポンプ装置セット及び液供給システム | 2018年12月19日 | |
| 特許 6442582 | 基板処理装置、基板処理方法及び記録媒体 | 2018年12月19日 | |
| 特許 6442596 | 基板搬送装置および基板搬送方法 | 2018年12月19日 | |
| 特許 6442622 | 基板処理装置のチャンバークリーニング方法 | 2018年12月19日 | |
| 特許 6435667 | エッチング方法、エッチング装置及び記憶媒体 | 2018年12月12日 | |
| 特許 6435967 | 縦型熱処理装置 | 2018年12月12日 | |
| 特許 6436068 | 基板処理方法及び基板処理装置 | 2018年12月12日 | |
| 特許 6437324 | タングステン膜の成膜方法および半導体装置の製造方法 | 2018年12月12日 |
507 件中 16-30 件を表示
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6441050 6441176 6441198 6441422 6441499 6441994 6442296 6442377 6442582 6442596 6442622 6435667 6435967 6436068 6437324
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