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東京エレクトロン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第58位 660件 上昇2018年:第67位 588件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第58位 415件 下降2018年:第50位 503件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6541355 冷却構造及び平行平板エッチング装置 2019年 7月10日
特許 6541374 基板処理装置 2019年 7月10日
特許 6541438 金属膜のストレス低減方法および金属膜の成膜方法 2019年 7月10日
特許 6541439 エッチング方法 2019年 7月10日
特許 6541492 液処理方法および液処理装置 2019年 7月10日
特許 6541540 プラズマ処理装置のインピーダンス整合のための方法 2019年 7月10日
特許 6541565 載置台及びプラズマ処理装置 2019年 7月10日
特許 6541584 ガス供給系を検査する方法 2019年 7月10日
特許 6541591 凹部内の結晶成長方法および処理装置 2019年 7月10日
特許 6541596 プラズマ処理方法 2019年 7月10日
特許 6541599 制御装置、基板処理システム、基板処理方法及びプログラム 2019年 7月10日
特許 6541605 基板処理装置、及び基板処理装置の撮像方法 2019年 7月10日
特許 6541618 被処理体を処理する方法 2019年 7月10日
特許 6541623 プラズマ処理装置、及び波形補正方法 2019年 7月10日
特許 6537329 温度制御装置、温度制御方法およびプログラム 2019年 7月 3日

418 件中 196-210 件を表示

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6541355 6541374 6541438 6541439 6541492 6541540 6541565 6541584 6541591 6541596 6541599 6541605 6541618 6541623 6537329

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