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東京エレクトロン株式会社

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  2019年 出願公開件数ランキング    第58位 660件 上昇2018年:第67位 588件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第58位 415件 下降2018年:第50位 503件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6511309 基板加熱装置及び基板加熱方法 2019年 5月15日
特許 6512063 成膜装置 2019年 5月15日
特許 6512089 基板処理装置及び基板処理装置の調整方法 2019年 5月15日
特許 6512119 基板処理方法、基板処理システム及び基板処理装置 2019年 5月15日
特許 6512860 熱処理システム、熱処理方法、及び、プログラム 2019年 5月15日
特許 6512954 フォーカスリングを検査するためのシステム、及びフォーカスリングを検査する方法 2019年 5月15日
特許 6512959 ガス供給系、ガス供給制御方法、及びガス置換方法 2019年 5月15日
特許 6512962 プラズマ処理装置 2019年 5月15日
特許 6512974 基板処理装置 2019年 5月15日
特許 6512975 エッチング終点検出方法及びプラズマ処理装置の制御装置 2019年 5月15日
特許 6512986 接合装置及び接合システム 2019年 5月15日
特許 6512994 化学増幅型レジスト材料 2019年 5月15日
特許 6513048 液処理装置 2019年 5月15日
特許 6513492 基板処理方法、基板処理装置及び記憶媒体 2019年 5月15日
特許 6513508 搬送装置、その制御方法及び基板処理システム 2019年 5月15日

418 件中 256-270 件を表示

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6511309 6512063 6512089 6512119 6512860 6512954 6512959 6512962 6512974 6512975 6512986 6512994 6513048 6513492 6513508

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