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東京エレクトロン株式会社

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  2021年 特許取得件数ランキング    第45位 515件 上昇2020年:第54位 436件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6827500 表面処理による選択的堆積 2021年 2月10日
特許 6827633 等方性シリコン及びシリコンゲルマニウムの調整可能な選択性を備えたエッチング 2021年 2月10日
特許 6828329 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 2021年 2月10日
特許 6823392 絶縁膜を形成する方法 2021年 2月 3日
特許 6823527 エッチング方法 2021年 2月 3日
特許 6823533 チタンシリサイド領域を形成する方法 2021年 2月 3日
特許 6823986 基板検査装置及び基板検査方法 2021年 2月 3日
特許 6824069 基板処理装置 2021年 2月 3日
特許 6824461 処理システム 2021年 2月 3日
特許 6824717 SiC膜の成膜方法 2021年 2月 3日
特許 6824962 基板液処理装置及び基板液処理方法並びに基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 2021年 2月 3日
特許 6825398 基板搬送装置及び基板搬送方法 2021年 2月 3日
特許 6819440 プラズマ処理装置及び基板処理システム 2021年 1月27日
特許 6819968 プラズマ処理装置 2021年 1月27日
特許 6820189 接合装置、接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 2021年 1月27日

520 件中 451-465 件を表示

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6827500 6827633 6828329 6823392 6823527 6823533 6823986 6824069 6824461 6824717 6824962 6825398 6819440 6819968 6820189

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