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東京エレクトロン株式会社

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  2021年 出願公開件数ランキング    第33位 878件 上昇2020年:第43位 773件)

  2021年 特許取得件数ランキング    第45位 515件 上昇2020年:第54位 436件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 6820206 被加工物を処理する方法 2021年 1月27日
特許 6820350 塗布処理方法、コンピュータ記憶媒体及び塗布処理装置 2021年 1月27日
特許 6820730 エッチング方法及びプラズマ処理装置 2021年 1月27日
特許 6820736 基板処理方法および基板処理装置 2021年 1月27日
特許 6820766 ガス導入機構及び熱処理装置 2021年 1月27日
特許 6820767 周縁塗布装置及び周縁塗布方法 2021年 1月27日
特許 6820783 基板処理装置 2021年 1月27日
特許 6820793 基板処理装置、排気管のコーティング方法及び基板処理方法 2021年 1月27日
特許 6822051 成膜装置及び成膜方法 2021年 1月27日
特許 6814377 ビア対グリッドのパターニングにおけるオーバレイエラーを減少する方法 2021年 1月20日
特許 6814693 マイクロ波出力装置及びプラズマ処理装置 2021年 1月20日
特許 6815158 酸化チタン膜の成膜方法およびハードマスクの形成方法 2021年 1月20日
特許 6815251 検査システム、ウエハマップ表示器、ウエハマップ表示方法、およびコンピュータプログラム 2021年 1月20日
特許 6815542 基板処理装置 2021年 1月20日
特許 6815799 基板処理装置及び基板処理方法 2021年 1月20日

520 件中 466-480 件を表示

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6820206 6820350 6820730 6820736 6820766 6820767 6820783 6820793 6822051 6814377 6814693 6815158 6815251 6815542 6815799

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